Wählen Sie zunächst die Art der Bewegung, die Sie messen möchten. Hierbei können Sie zwischen einer linearen oder rotativen Bewegung unterscheiden.
Die Positionserfassung kann inkremental oder absolut erfolgen. Die inkrementelle Messmethode liefert eine relative Position sowie Bewegungsrichtung, die zu Beginn der Messung eine Zuordnung zu einem Referenzpunkt (Startpunkt) erfordert. Dies erfolgt durch eine Referenzfahrt der Achse. Die absolute Messmethode liefert an jeder beliebigen Achsposition eine konkrete Positionsinformation. Eine Referenzfahrt zu Beginn der Messung ist dabei nicht notwendig.
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Die Halbleitertechnologie befasst sich mit der technischen Herstellung mikroelektronischer Bauelemente und Baugruppen, die vorwiegend aus Halbleitermaterialien bestehen. Integrierte Schaltkreise (ICs), gefertigt aus einem Halbleitermaterial wie Silizium, bilden dabei einen wichtigen Teil für die Herstellung moderner elektronischer Geräte. Die Halbleiterproduktion ist ein hochkomplexer Prozess, der sich aufgrund steigender Anforderungen an die Leistungsfähigkeit der Elektroniken, stetig weiterentwickeln muss. Der Bedarf an entsprechenden Anlagen, Maschinen und Geräten steigt von Jahr zu Jahr an.
Hochpräzises Positionieren von Achsen ist dabei der Schlüssel für viele Errungenschaften der modernen Technik. Gerade in der industriellen Halbleiterfertigung oder auch in den Bereichen Medizin, Forschung und Inspektion von Materialien bekommen Positionieraufgaben einen stetig wachsenden Stellenwert. Die Herausforderungen dabei sind die stetige Miniaturisierung von Baugruppen, das hochgenaue und reproduzierbare Messen von Translationen sowie die Zuverlässigkeit der integrierten Systeme. Aufgrund der sehr kleinen Baugröße und des modularen Aufbaus des optischen Linearmesssystems LIKselect von NUMERIK JENA, ist dieses hervorragend für die Integration in sehr kleinen, flachen Positioniertischen prädestiniert. Im Vorliegenden Beispiel wurden zwei LIKselect Messsysteme in einen besonders flachen Kreuztisch integriert. Dieser kann zur Positionierung von Bauteilen, Wafern oder Fertigungseinheiten eingesetzt werden. Das LIKselect bietet dabei auch die Möglichkeit, Baugruppen wie einen Kreuztisch in Vakuum-Umgebungen zu betreiben. Gerade in innovativen und komplexen Bereichen wie der Halbleitertechnik oder Photonik eröffnet dies neue Möglichkeiten.
Die äußerst kompakte Bauweise sowie die vielen Konfigurationsmöglichkeiten machen diese Produktserie zum Allround-Talent für inkrementelle Wegmessungen
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Die LIA-Serie bietet ein großes Spektrum an Anwendungsmöglichkeiten und ist mit erweiterbaren Ausstattungsmerkmalen, wie optionalen Schaltsensoren, konfigurierbar
Die Verschmelzung von inkrementeller und absoluter Messtechnologie verleihen diesem Messsystem seine herausragenden Eigenschaften.
Die Flache sowie leichte Bauweise des Messsystems ermöglicht dem Anwender eine Breite Anwendungsvielfalt für rotative Messaufgaben
Seit 25 Jahren sind wir darauf spezialisiert, individuelle Lösungen zusammen mit unseren Kunden zu erarbeiten. Eine Vielzahl unserer Kunden erhalten von uns speziell entwickelte Messsystemlösungen, die ihre Produkte einzigartig machen und von Mitbewerbern abgrenzen.
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